根据观研陈述网发布的《我国半导体真空分子泵职业开展深度剖析与出资远景研究陈述（2026-2033年）》显现，半导体真空分子泵是半导体制作“真空心脏”，用于在腔体内树立并保持高线⁻¹¹ Pa），无油、洁净、抽速快，是刻蚀、堆积、离子注入、EUV 光刻等先进制程的标配中心部件。根据数据，半导体真空分子泵约占半导体线%。
2025 年全球半导体线 亿美元，其间我国为中心增长极，2025 年商场规模约 19.25 亿元，占全球的比重约 35%。跟着全球半导体产业扩产提速、先进制程继续迭代，估计 2032 年全球半导体真空分子泵商场规模将达 12.86 亿美元，2025-2032 年复合增长率达7.4%。
从细分商场结构看，按轴承类型区分，磁悬浮分子泵为肯定干流，占半导体用分子泵 90% 以上，具有无油、低振荡、长寿命等优势，适配 7–28nm 逻辑、EUV、ALD 等先进制程；机械轴承分子泵占比缺乏 10%，多用于老练制程刻蚀、封测等场景。
半导体真空分子泵技能与途径壁垒深沉，全球商场高度集中，阿特拉斯科普柯、岛津两大龙头算计占有近 50% 商场份额。
随同全球半导体供应链本乡化提速，国内半导体设备与耗材国产代替全方面推动，芯片制作、封测全产业链扩容，本乡真空设备企业迎来要害窗口期。
现在干式真空泵已完结全品类批量供货，干流品类国产化率超 50%，中低端场景完结代替并向高端浸透；而半导体真空分子泵国产化率仅约 1%，高端磁悬浮分子泵简直彻底依靠进口。相较之下，半导体真空泵赛道存在十分显着的国产代替空间，本乡企业有望在方针与下流需求驱动下加快打破。
