当前，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司(简称中科仪，股票代码830852)正处于北交所第二轮审核问询阶段，这一进展标志着公司在长期资金市场上的重要一步。作为中国科学院下属的高新技术企业，中科仪深耕线年，已发展成为国内领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设施供应商。公司主要营业业务涵盖干式真空泵和真空科学仪器设施的研发、生产、销售及有关技术服务，产品大范围的应用于集成电路晶圆制造、光伏电池等泛半导体产品制造，以及国家重大科学技术基础设施和科研领域，形成了工业+科研双市场布局。在半导体设备国产化替代加速的背景下，中科仪凭借技术突破与市场拓展，已成为支撑国家战略的重要力量。公司本次IPO拟募资8.52亿元，主要用于三个项目：干式线亿元)、高端半导体设备扩产及研发中心建设项目(4.74亿元)和新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目(1.21亿元)。这些项目将进一步提升公司在半导体设备核心部件领域的竞争力，扩大市场份额。
中科仪的战略价值体现在其紧密围绕国家战略需求，推动半导体设备核心部件国产化替代，助力科技自立自强。公司通过技术创新打破欧美及日本企业的长期垄断，填补了国内在高端真空装备领域的空白，有效保障了我国集成电路制造设备关键部件的自主可控和供应链安全 。
在产业赋能方面，中科仪的产品已深度融入国内半导体产业链，支持中芯国际、长江存储、华虹集团、长鑫存储、华润微、上海积塔、广州粤芯等国内主流晶圆制造企业，以及北方华创、拓荆科技、客户A等国内领先半导体设备厂。公司干式线万台，其中在集成电路领域累计出货超2.5万台，根据市场预计数据测算，2024年其在集成电路领域的国内市占率约为12.72%，位居国产企业首位 。产品已通过台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证并实现小批量出货，表明其技术已达到国际先进水平。
中科仪的战略价值还体现在其对产业链的带动作用上。干式真空泵作为半导体制造工艺设备的关键配套装置，能够为集成电路、光伏、LED、平板显示、锂电池等行业生产提供所需的高洁净度真空环境。公司产品已实现在12英寸集成电路制造工艺的成熟使用，实现了产品较高程度的可靠性、稳定性、一致性，为整个产业链的稳定发展提供了重要支撑。
二、国家战略契合度：产品支撑半导体、重大科学技术基础设施等国家战略领域，打破卡脖子技术垄断
中科仪的产品线与国家战略高度契合，特别是在半导体设备国产化、重大科学技术基础设施建设和新能源产业发展方面。
在半导体领域，中科仪是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，也是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。公司研发的干式线D NAND等存储器工艺的生产需要，已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，解决了半导体制造设备领域的卡脖子问题。
在重大科学技术基础设施领域，中科仪深度参与了包括北京正负电子对撞机、上海光源、北京高能同步辐射光源等在内的11项国家重大科学技术基础设施的关键真空部件研制工作，是光束线、波荡器、前端区等核心部件的最主要研制单位。公司前身成功研制了国产分子束外延设备(MBE)，打破了国外长期禁运，为我国基础科学研究提供了关键支撑。
在新能源领域，中科仪的干式真空泵产品用于薄膜太阳能电池的PVD(物理气相沉积)或PECVD(等离子体增强化学气相沉积)工艺，这些工艺均需要在真空环境下进行。根据《十四五新能源规划》要求，我国正加强光伏智慧制造与设备国产化，开展关键集中攻关，突破高质量制造设备用分子泵、真空阀门、电源、真空计等真空设备标准件、性能检测设备等制造技术。中科仪的产品符合国家新能源发展战略，为光伏产业链的自主可控提供了重要保障。
中科仪的这些贡献获得了国家级高新技术企业、专精特新小巨人企业等权威认证，彰显了其在国家战略领域的重要地位。2024年，中科仪实现营业收入10.82亿元，同比增长27.06%，展现出强劲的发展势头。
三、长期成长基石：依托中科院技术传承，近70年真空技术积累，构建高壁垒供应商体系
公司前身是中国科学院沈阳科学仪器研制中心，成立于1958年，是中国科学院第二家整体转制的科研事业单位。这种转制背景使中科仪能够充分利用中科院的科研资源和技术积累，形成了独特的技术壁垒。截至2024年末，公司拥有发明专利99项，负责或作为主要参与方起草了13项真空技术相关的国家、行业及团体标准;公司及下属子公司拥有的注册商标12项，获评国家级企业技术中心，承担真空技术装备国家工程实验室等科研平台建设。
在供应商体系方面，中科仪已建立了覆盖全国的服务网络，在上海和武汉分别设立了子公司——上海上凯仪和武汉上凯仪，专注于干式真空泵的维修与保养业务。这两家子公司已被台积电、中芯国际、长江存储、大连英特尔等知名集成电路制造企业纳入合格供应商体系，体现了公司在国际供应链中的重要地位。
此外，中科仪还通过中科院沈阳国家技术转移中心与高校、科研机构建立了紧密合作，形成了价值共同创造体系，促进了科技成果的转移转化。这种产学研协同创新模式为中科仪提供了持续的技术创新能力和市场竞争力。
中科仪作为中国科学院下属的高新技术企业，经过近70年的发展，已形成了以真空技术为核心的战略优势。公司通过技术创新打破欧美及日本企业的长期垄断，支撑了半导体、重大科学技术基础设施和新能源等国家战略领域的发展。在工业+科研双市场布局下，公司形成了独特的竞争优势和高壁垒供应商体系。
